РА319978 Оксанич А. П. Методи та апаратура контролю структурно-геометричної досконалості напівпровідникових матеріалів та структур в умовах їх серійного виробництва [Текст] : Автореф. дис... д-ра техн. наук: 05.27.06 / Оксанич Анатолій Петрович ; Харківський національний ун-т радіоелектроніки. - Х., 2002. - 34 с.