Пошуковий запит: (<.>U=К961.5$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 9
Представлено документи з 1 до 9
|
1. | ІВ201314 Dziuban J. A. Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów [Текст] / J. A. Dziuban. - Wrocław : Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2002. - 345 s.: rys
|
2. | ІВ220011 Lee S. -J. J. Microfabrication for microfluidics [Текст] / Sang-Joon john Lee, Narayan Sundararajan. - Boston ; London : Artech house, 2010. - IX, 262 p. : fig. - (Integrated microsystems series)
|
3. | ІС12972 "Mikromechanik & Mikroelektronik", Fachtagung (7;2005;Chemnitz). 7. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik [Текст] / Technische Universität Chemnitz. - Chemnitz : [б.в.], 2005. - 214 S.: Abb.
|
4. | ІС12097 "Mikromechanik & Mikroelektronik", Fachtagung (5;2001;Chemnitz). Chemnitzer Fachtagung: Mikromechanik und Mikroelektronik [Текст] : 23-24 Okt. 2001 / Technische Universität Chemnitz. - Chemnitz : [б.в.], 2001. - 267 p.: fig.
|
5. | ІВ215612 Sobe U. Anregung und Auswertung von resonanten mikromechanischen Strukturen mit elektrostatischem Antrieb und kapazitivem Detektor in Mikrosystemen [Текст] : Diss. / Udo Sobe ; Fak. Elektrotechnik der Techn. Univ. Dresden. - Aachen : Shaker Verlag, 2004. - 176 S. : Abb. - (Berichte aus der Elektrotechnik, ISSN 0945-0718)
|
6. | CDR104 Wego A. Entwicklung einer thermopneumatischen Mikromembranpumpe auf Basis der Leiterplattentechnologie [Текст] : Diss. / A. Wego ; Universität Rostock. Fak. für Ingenieurwiss. - Rostock : [б.в.], 2001. - CDR
|
7. | РА412474 Білокінь С. О. Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.13 / Білокінь Світлана Олександрівна ; Нац. техн. ун-т України "Київ. політехн. ін-т". - Київ, 2014. - 24 с. : рис.
|
8. | ВА709295 Гераїмчук М. Д. Нано- і мікротехнології в приладобудуванні [Текст] / М. Д. Гераїмчук, І. М. Гераїмчук ; Національний технічний ун-т України "Київський політехнічний ін-т". - К. : ЕКМА, 2008. - 90 с.: мал., табл.
|
9. | ВС46984 Распопов В. Я. Микромеханические приборы [Текст] : учеб. пособие для студ. вузов, обуч. по спец. "Приборостроение" направления подгот. "Приборостроение" / В. Я. Распопов. - М. : Машиностроение, 2007. - 399 с.: рис. - (Для вузов)
|