Формування нанорозмірних плівок Ti-O-N та Cr-O-N іонно-променевими методами [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.07 / Стєрвоєдов Андрій Миколайович ; Нац. акад. наук України, Ін-т електрофізики і радіац. технологій. - Х., 2010. - 20 с. : рис.