Рассмотрены особенности проектирования первичного и вторичного преобразовательных элементов датчика давления для бортового оборудования ЛА и контрольно-проверочной аппаратуры. Предлагаемый датчик отличается простотой конструкции и высокой технологичностью изготовления. Описана методика расчета пневмомеханического резонатора с несколькими частотами колебаний плоского резонирующего элемента специальной формы. Получены расчетные зависимости для выбора основных конструктивных параметров датчика давления.На основании результатов расчета одного из вариантов конструкции прибора показана возможность прецизионного измерения давления.

Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Представлена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения величины и снижения скорости возрастания гистерезиса выходного сигнала микроэлектромеханических структур.

Проведен анализ температурных погрешностей датчиков давления, выявлена физическая природа их возникновения. Выработаны рекомендации по конструированию датчиков давления с уменьшенной температурной погрешностью. Классифицированы и рассмотрены методы уменьшения температурных погрешностей, приведены примеры реализации методов в конструкциях датчиков давления.

Рассмотрены датчики на основе линий задержки на поверхностных акустических волнах (ПАВ), в которых имеются приемо-излучающий и отражательный встречно-штыревые преобразователи (ВШП). Исследованы зависимости коэфициента отражения ПАВ от типа и величины нагрузки. Предложены составная линия задержки, в которой фаза коэффициента отражения зависит от величины давления, приводящего к смещению отражательного ВШП относительно приемопередающего, так как они находятся на различных подложках, и структурные схемы опрашивающих устройств.

The sensors of the controlled from distance control on the basis of delay lines on surface acoustic waves (SAW) are considered, in which are a receive-sending interdigital transducer (IDT) and reflecting IDT. Dependences of coefficient of reflection of SAW are explored on reflecting IDT depending on a type and size of loading, the size of which is sensible to physical by influence of a different type. The sensors of pressure on the basis of component delay line are considered, in which the phase of coefficient of reflection depends on the size of pressure which brings to displacement of reflecting IDT over in relation to receive-sending IDT, because they are on different substrates in component delay line (DL) on SAW. The functional diagrams of polling devices are resulted both for the DL case with reflecting one IDT connected to loading and for component DL.

Изложены обобщенные результаты разработок тензорезисторов и методик их применения при медленных и быстроизменяющихся температурах. Описаны технологические средства для испытаний датчиков, способы термокомпенсации.

Ключ. слова: нитевидный кристалл, многофункциональный сенсор, датчик давления и температуры, обработка сигнала, микроконтроллер, AD8555, Atmega8.
Індекс рубрикатора НБУВ: З323-5

Рубрики:

Вимірювання тиску і розрідження

Шифр НБУВ: Ж14479 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Рассмотрены особенности практической реализации оптико-электронного метода избыточных измерений давления, который обеспечивает автоматическую коррекцию составляющих систематической погрешности результата измерений. Предложена конструкция информативно-избыточного волоконно-оптического датчика давления с улучшенными метрологическими характеристиками.

The paper describes features of practical realization of optic-electornic method of redundant measurements of pressure, which guarantees automatic correction of systematic error components in measurement results. Construction of informative-redundant fiber-optic pressure with the improved metrological characteristics is proposed.

Ключ. слова: кремний, пьезосопротивление, тензорезистивный, преобразователь давления, криогенные жидкости, жидкий азот, жидкий гелий
Індекс рубрикатора НБУВ: З323-5

Рубрики:

Вимірювання тиску і розрідження

Шифр НБУВ: Ж14479 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Для измерения тензометрических параметров разработано многоканальное устройство контроля. Особенностью устройства является высокая чувствительность, малая погрешность измерений. Показана возможность расширения информативной способности устройства за счет подключения унифицированных датчиков различных параметров, снижения энергопотребления и себестоимости при улучшении основных эксплуатационных характеристик.

Для вимірювання тензометричних параметрів розроблено багатоканальний пристрій контролю. Особливістю пристрою є висока чутливість, мала похибка вимірювань. Показано можливість розширення інформаційної спроможності пристрою за рахунок підключення уніфікованих датчиків різних параметрів, зниження енергоспоживання та собівартості за збереження основних експлуатаційних характеристик.

For measurement tensometric parameters, the multichanel control unit was developed. Feature of the device is high sensitivity, a small error of measurements, low power consumption. Possibility of expansion of informative ability of the device at the expense of connection of the unified sensors of various parameters, decrease in power consumption and the cost price is shown at improvement of the basic operational characteristics.

Рассмотрены особенности архитектуры нескольких поколений тензометрических приборов, разработанных в тензометрической лаборатории ОПИ и применяемых в весах для взвешивания железнодорожных вагонов в движении. Предложена архитектура многоканального тензометрического прибора на основе выносных аналого-частотных преобразователей.

The features of architecture of severel generations of tensometric devices, developed in the tensometric laboratory of OPI and applied in scales for weighing railroad cars in motion are considered. Proposed architecture of a multichannel tensometric device based on remote analog-tofrequency converters.

Описана простая методика измерения коротких газовых импульсов ионизационным манометром, собранным из типового лабораторного оборудования при минимальной доработке. В качестве датчика давления газа использован стандартный манометрический преобразователь ПМИ-10-26, благодаря которому возможно измерение импульсов давления газа длительностью от 10 мкс в диапазоне давлений 10-3 і 10-6 Па.

Проведено исследование и расчет неопределенности грузопоршневого манометра с газовой смазкой. Целью является выявление основных влияющих факторов на результат измерения и расчет оценки неопределенности. Оценены влияющие на результат измерения факторы, показана процедура оценки стандартной и расширенной неопределенностей грузопоршневого манометра. Актуальность данной темы состоит в широком применении оценки неопределенности - основы прослеживаемости измерений. Цепь прослеживаемости измерений до национальных эталонов и оценка неопределенности - необходимые условия для признания компетентности и дееспособности любой измерительной, испытательной или калибровочной лаборатории.

Розглянуто конструкцію, принципи побудови та результати випробувань макета датчика тиску з пневмомеханічним резонатором (ДТПМР). Результати показали можливості вимірювання макетом тиску з використанням демпфірування та пружності газу, основна наведена похибка яких не перевищуватиме 0,1 %. Розбіжність одержаних експериментально та аналітично коефіцієнтів і характеристик склала менше 20 %, що підтверджує розроблену авторами теорію побудови ДТПМР.

Рассмотрены причины возникновения погрешностей при измерении массы, силы и деформаций тензометрическим методом. Предложен способ расширения полосы пропускания измерительных каналов для повышения точности при динамических измерениях.

Рассмотрен нечувствительный к воздействию дестабилизирующих факторов информативно-избыточный волоконно-оптический сенсор давления, предназначенный для реализации оптико-электронных методов измерений. Подробно описаны функциональные возможности сенсора и метод создания информативной избыточности.

Запропоновано спосіб вимірювання динамічного тиску, який дозволяє здійснювати вимірювання у реальному масштабі часу.

Запропоновано спосіб вимірювання динамічного тиску, який дозволяє здійснювати вимірювання у реальному масштабі часу.

Запропоновано тензометричний перетворювач тиску для високотемпературних середовищ.

Надано стислий опис методу та конструкції вимірювача для безконтактного контролю глибини охолодження термоелектричних мікромодулів Пельтье в статичному та динамічному режимах із похибкою вимірювань, що не перевищує 1 %, за продуктивності 160 охолоджувачів на зміну. Як чутливі елементи датчика теплових потоків використано анізотропні оптикотермоелементи.

Запропоновано чутливий елемент датчика тиску, який формується на базі багатошарової плівкової системи на основі шарів Cr і Cu або Fe. Представлено результати досліджень робочих характеристик датчика тиску на основі систем Fe/Cr та Cu/Cr, а також аналіз процесів дифузії та фазоутворення на межі поділу шарів і проблему стабільності інтерфейсів.