Віртуальна довідка Тематичний інтернет-навігатор Наукова електронна бібліотека Автореферати дисертацій Реферативна база даних Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання
|
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
Формат представлення знайдених документів: | повний | стислий |
Пошуковий запит: (<.>A=Корбецький О$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 3
Представлено документи з 1 до 3
|
| | | | |
1. |
Корбецький О. Р. Комп'ютерне моделювання розподілу поверхневого опору по пластині та в "касеті" для операції "дифузія" в проточному реакторі / О. Р. Корбецький, П. П. Гранат, В. М. Теслюк // Радіоелектроніка. Інформатика. Управління. - 2000. - № 2. - С. 88-93. - Бібліогр.: 6 назв. - укp.Розглянуто питання моделювання газофазної операції "дифузія" в проточному реакторі в процесі виробництва інтегральних схем. Розроблена математична модель дозволяє отримати характеристики газового потоку в реакторі і оцінити їх вплив на величини розкиду поверхневої концентрації домішки по поверхні пластини та групи пластин. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.15-06
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16683 Пошук видання у каталогах НБУВ
|
| | | | |
2. |
Теслюк В. М. Моделювання профілів розподілу домішкових іонів, вакансій та міжвузлових атомів у напівпровідниковому матеріалі при іонному легуванні / В. М. Теслюк, О. Р. Корбецький // Радіоелектроніка. Інформатика. Управління. - 2001. - № 1. - С. 22-27. - Бібліогр.: 12 назв. - укp.Запропоновано математичну модель іонної імплантації, яка базується на методі Монте-Карло, що дозволяє підвищувати точність моделювання з урахуванням основних законів взаємодії іона з атомами багатокомпонентної мішені. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.15-06
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16683 Пошук видання у каталогах НБУВ
|
| | | | |
3. |
Корбецький О. Р. Моделі, методи та програмні засоби для автоматизованого проектування газофазної операції "дифузія" в проточному реакторі : Автореф. дис... канд. техн. наук: 05.13.12 / О. Р. Корбецький; Держ. ун-т "Львів. політехніка". - Л., 2000. - 19 c. - укp.Дисертацію присвячено питанням моделювання газофазних операцій за умов виробництва інтегральних схем (ІС) на прикладі операцій "дифузія" у проточному реакторі. Розроблено алгоритм моделювання газодинамічних, тепло- та масообмінних процесів, який дозволяє провести обчислення від розрахунку параметрів газового потоку до отримання значень контрольованих вихідних параметрів газофазної операції "дифузія". Запропоновано модель з метою розрахунку поверхневого опору, яка на відміну від існуючих моделей, дозволяє врахувати вплив складу і товщини осадженої плівки домішково-селікатного скла та парціального тиску кисню у газовій суміші на поверхневу концентрацію легуючої домішки. За допомогою числових методів скінченних різниць та об'ємів розв'язано систему рівнянь Нав'є - Стокса, що дало змогу отримати характеристики газового потоку у проточному реакторі та оцінити їх вплив на величину розкиду концентрації домішки на поверхні пластин та довжині зони постійної температури. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.15-02-5-05
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА308994 Пошук видання у каталогах НБУВ
|
|
|