Розкрито засади вакуумної техніки, описано властивості вакууму. Запропоновано класифікацію вакуумних насосів, викладено принципи їх дії. Розглянуто методи вирощування монокристалів, охарактеризовано матеріали та інструменти для механічної обробки напівпровідникових кристалів. Визначено технологічні умови створення напівпровідникового детектора.

Ракрыты основы вакуумной техники, описаны свойства вакуума. Предложена классификация вакуумных насосов, изложены принципы их действия. Рассмотрены методы выращивания монокристаллов, охарактеризованы материалы и инструменты для механической обработки полупроводниковых кристаллов. Определены технологические условия создания полупроводникового детектора.