Розглянуто методи контролю вологості газів, твердих речовин та рідин на основі мікроелектронних сенсорів вологості, зокрема, базових конструкцій ємнісних мікроелектронних плівкових сенсорів, вторинних перетворювачів, оптичних та оптоелектронних сенсорів. Описано фізико-хімічні властивості води, проаналізовано вплив вологості на параметри інтегральних схем та методи її контролю.

Рассмотрены методы контроля влажности газов, твёрдых веществ и жидкостей на основе микроэлектронных сенсоров влажности, в частности, базовых конструкций ёмкостных микроэлектронных плёночных сенсоров, вторичных преобразователей, оптических и оптоэлектрических сенсоров. Описаны физико-химические свойства воды, проанализировано влияние влажности на параметры интегральных схем и методы её контроля.