РА309404 Данчишин І. В.Чернів. держ. ун-т ім. Ю.Федьковича. Розробка методів та засобів забезпечення технологічності МОН-структур мікроелектронних пристроїв в умовах автоматизованого виробництва [Текст] : Автореф. дис... канд. техн. наук : 05.27.01.- URL: /ard/2000/