Отримано експериментальні дані про розмірну залежність параметра гратки в острівцевих вакуумних конденсатах Cu, Ag, Au, Al та Ni, одержаних шляхом термічного випаровування та магнетронного розпилення під час зміни умов препарування в широких межах. Розроблено метод двох еталонів для презиційного вимірювання параметра гратки в острівцевих плівках з використанням дифракції електронів. Встановлено, що параметр гратки досліджених металів може збільшуватись і зменшуватись у разі зменшення характерного розміру залежно від умов їх препарування. Зазначено, що коли вплив газових домішок зведено до мінімуму, параметр гратки досліджених елементів зменшується у разі зменшення характерного розміру. Зменшення параметра гратки пояснено в рамках вакансійного механізму, який грунтується на урахуванні збільшеної концентрації вакансій в малих частинках у порівнянні з масивними зразками. Визначено розмірну залежність енергії утворення об'ємних і поверхневих вакансій, а також показано, що зміну параметра гратки в малих частинках ГЦК металів обумовлено поверхневими та приповерхневими вакансіями. Отримано вираз для оцінки об'єму вакансії та обчислено вакансії для ряду елементів. Показано, що характер розмірної залежності параметра гратки (зменшення або збільшення в порівнянні з масивними зразками) визначається співвідношеннями між об'ємами атома та вакансії. Отримано дані про поверхневу енергію та її розмірну залежність в малих частинках Cu, Ag, Au, Al та Ni.