Розроблено методи та засоби для реалізації інформаційних технологій (ІТ) аналізу та синтезу мікроелектромеханічних систем (МЕМС) на системному, схемотехнічному та компонентному рівнях. Розроблено архітектуру ІТ аналізу та синтезу МЕМС, в якій використано побудований програмно-технічний засіб, багаторівневі розробки, базові структури й елементи та нові інформаційні моделі. Показано, що запропонована архітектура ІТ аналізу та синтезу МЕМС дозволяє підвищити рівень автоматизації даних процедур. Розробленоо методи для системного рівня ІТ аналізу та синтезу МЕМС, які розв'язують задачі структурного та параметричного синтезу на базі побудови дерева альтернативних рішень, базових структур та елементів, набору продукційних правил і теорії кольорових мереж Петрі. Побудовано метод автоматизованого синтезу VHDL-AMS-моделей базових пристрої в МЕМС для схемотехнічного рівня на підставі методу електричних аналогій, систем звичайних дифереціальних рівнянь і рівнянь в частинних похідних. Зазначено, що послідовність і кількість використання диференціальних рівнянь визначається фізичними принципами роботи елемента МЕМС і кількістю перетворень енергії.

Розроблено методи автоматизованого синтезу моделей компонентного рівня на базі рівнянь в частинних похідних з наступним їх розв'язанням за допомогою методу скінченних різниць або скінчених елементів. Побудовано тривимірні моделі технологічних процесів виготовлення МЕМС, які дозволяють дослідити вплив технологічних параметрів на вихідні параметри інтегрального пристрою. Зроблено промислове впровадження розроблених методів і засобів, які використано для аналізу та синтезу нових типів МЕМС з покращаними технічними характеристиками.