Мета - підвищення ефективності автоматизованого проектування технологічних процесів виготовлення мікроелектромеханічних акселерометрів, шляхом зниження вартості і часу їх проектування та виготовлення, за рахунок розробки та удосконалення моделей, методів і програмного забезпечення. Методи дослідження: методи математичного та комп’ютерного моделювання, класифікації, обчислювального інтелекту, дискретного програмування, оптимізації, математичної логіки, теорії множин, теорії графів, чисельних методах, методах імітаційного моделювання, теорії алгоритмів, методах організації графічного діалогу побудови інтерфейсу користувача. Розроблені і удосконалені моделі та методи дали змогу вирішити важливе наукове завдання підвищення ефективності автоматизованого проектування технологічних процесів виготовлення мікроелектромеханічних акселерометрів. Розроблено математичну модель визначення мікроелектромеханічного акселерометра-аналога, для якої формалізовано критерії часу і вартості виготовлення, маси та площі мікроелектромеханічних акселерометра та враховано функціонально-конструктивні обмеження, що дозволяє визначити найкращій варіант мікроелектромеханічного акселерометра-аналога для здійснення вибору типового технологічного процесу. Уперше розроблено узагальнений метод автоматизованого проектування технологічних процесів виготовлення мікроелектромеханічного акселерометрів, який базується на двох часткових методах: вибору типових технологічних процесів і пошуку аналогів окремих елементів технологічного процесу, що дозволяє отримати ефективний технологічний процес за рахунок зниження вартості та часу виготовлення; удосконалено модель структурно-параметричного синтезу технологічного процесу виготовлення мікроелектромеханічних акселерометрів, яка, на відміну від відомих, шляхом вибору типового технологічного процесу, операцій і обладнання, дає змогу отримати структуру технологічного процесу і у випадку необхідності обрати ефективніше технологічне обладнання. Удосконалено метод вибору типових технологічних процесів виготовлення мікроелектромеханічних акселерометрів, який, на відміну від існуючих, на основі методів ієрархічної кластеризації та інтелектуального аналізу даних, який дозволяє визначити взаємозв'язок між функціонально-конструктивними показниками мікроелектромеханічного акселерометра-аналога і типовим технологічним процесом та знизити вартість і час на проектування. Отримано результати, що можуть бути використані для автоматизованого проектування технологічних процесів виготовлення мікроелектромеханічних акселерометрів з подальшим створенням технічної документації у вигляді маршрутної карти для їх виготовлення.