Наведено результати теоретичного й експериментального дослідження дії атомарного водню на параметри тонкоплівкових структур. Висвітлено проблеми розвитку технології радикалорекомбінаційної обробки поверхні твердого тіла. Розглянуто фізичні основи методів плазмохімічної, плазмоворадикальної та водневої обробки поверхні твердого тіла. Описано електричні, фізичні, електрофізичні методи дослідження параметрів плівкових мікроструктур. Охарактеризовано фізичні процеси, що проходять під час взаємодії атомарного водню з поверхнею твердого тіла, зокрема, розпилення, стимулювання дифузійних процесів в приповерхневих шарах, дефектоутворення і модифікації поверхні, зміни структури металевих плівок. Наведено результати експериментального дослідження взаємодії атомарного водню з гетероструктурами на основі тонких плівок Cu, Ni, Ag, Au, In.

Розглянуто методи одержання та дослідження фізичних властивостей плівкових зразків. Наведено методики вивчення електропровідності металевих плівок, фазового складу, та кристалічної структури зразків плівок, елементного складу. Описано методи рентгеноспектрального мікроаналізу та вторинно-іонної мас-спектрометрії, методики дослідження магніторезистивних властивостей плівкових зразків і магнітоопору, проведення магнітостатичних вимірювань і вивчення доменної структури. З'ясовано кристалічну структуру та фазовий склад тонких металевих плівок. Визначено електропровідність полікристалічних плівок. Охарактеризовано магніторезисторні властивості плівкових систем.

Індекс рубрикатора НБУВ: В378.26,021

Рубрики:

Тонкі шари металів

Шифр НБУВ: РА441634 Пошук видання у каталогах НБУВ