Загальна кількість знайдених документів : 2 Представлено документи з 1 до 2
1.
Ж73616 Новосядлий С. П. Джерела іонів для формування шаруватих структур ВІС [Текст]: 1 // Прикарпат. вісн. НТШ. Сер. Число.-С.151-158
2.
Ж26618 Новосядлий С. П. Технологічні особливості сухої вакуумної літографії для формування субмікронних структур BIC [Текст] 13: 1 // Фізика і хімія твердого тіла.-С.273-278