Вивчено вплив легуючих елементів на фазові перетворення та структуру напівпровідникового кремнію. Показано, що фазові та структурні перетворення, що відбуваються в кремнії в інтервалі температур 100 - 1200 °C, значно впливають на формування кінцевої структури і, відповідно, електрофізичних властивостей. Структурні зміни послабляються або придушуються цілком шляхом введення в кремній легуючих елементів, що значно підвищують енергію міжатомної взаємодії. Цей факт необхідно враховувати у виробництві напівпровідникових приладів. Визначені температури технологічних процесів з урахуванням інтервалів фазових перетворень у кремнії, а також під час вибору легуючих елементів, що забезпечують темостабільність кремнію.

  Скачати повний текст