Розкрито основи побудови мікро- та наноперетворювачів механічних величин. Охарактеризовано принципи конструювання перетворювачів. Описано мікро- та нанотехнології. Розглянуто питання вибору матеріалів і технології виготовлення у процесі розробки мікро- та наносистем і їх елементів. Увагу приділено методології, етапам і засобам проектування систем на кристалі та мікроелектромеханічних системах (МЕМС). Проаналізовано програмні засоби моделювання та проектування МЕМС. Наведено приклади реалізації систем на основі концепції "система на кристалі".

Раскрыты основы построения микро- и нанопреобразователей механических величин. Охарактеризованы принципы конструирования преобразователей. Описаны микро- и нанотехнологии. Рассмотрены вопросы выбора материалов и технологии при разработке микро- и наносистем и их элементов. Внимание уделено методологии, этапам и средствам проектирования систем на кристалле и микроэлектромеханических системах (МЭМС). Проанализированы программные средства моделирования и проектирования МЭМС. Приведены примеры реализации систем на основе концепции "система на кристалле".

Рассмотрены современные тенденции развития процессов групповой финишной обработки литых микроизделий, а также сформулированы основные требования, выполнение которых необходимо для получения качественных результатов при финишной обработке отливок из дорогостоящих сплавов. Разработана оптимизированная технология, включающая объемное упрочнение и снижение шероховатости поверхности отливок с применением способа групповой вибрационно-роторной комбинированной обработки. В процессе обработки в литье формируется низкий уровень остаточных напряжений и образуется гладкий поверхностный слой, обеспечивающий повышенную износостойкость и высокий уровень вязкости разрушения. Минимальный съем благородных металлов с поверхности изделий обеспечивается оптимизацией процессов и введением в технологический цикл предварительной виброупрочняющей обработки. Приведенные данные могут служить хорошей информационной поддержкой при создании новых технологий и правильном выборе необходимого класса оборудования.

Рассмотрены основные технологические методы изготовления микроэлектромеханических систем и особенности использования КМОП-технологии при изготовлении изделий микросистемной техники (МСТ). МСТ наряду с нанотехнологиями является революционным направлением развития техники XXI века.

Проаналізовано стан мікросистемного приладобудування як перспективний напрям розвитку науки та техніки; надано опис основних вузлів мікроелектромеханічних систем із описанням конструктивних особливостей і галузей їх застосування. Розглянуто проблематику проектування та виготовлення мікросистемних приладів.

Досліджено можливість застосування методу лазерної абляції (ЛА) та термічного спікання при виготовленні полімерних мікрофлюїдних пристроїв. Наведено експериментальні залежності геометричних розмірів поперечного перерізу мікроканалів у матриці з поліметилметакрилату від параметрів лазерного випромінювання і відповідні залежності після спікання. Показано, що при цільовому виборі параметрів лазерного випромінювання технологія ЛА дає можливість сформувати в ПММА-пластинах відтворювальні структури, які після герметизації за допомогою методу термічного спікання досягають розмірів від 50 до 170 мкм.

Встановлено фактори та досліджено процеси, що впливають на точність діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні. Проведено модифікування вуглецевим покриттям інструменту атомно-силового мікроскопу, а саме - кремнієвого зонду. Розроблено спосіб зняття електростатичного заряду та визначено оптимальні режими роботи атомно-силового мікроскопу в результаті чого в 2,5 - 3 рази зменшується кількість артефактів, на 25 - 30 % підвищується термін служби та у 1,4 - 3,4 раза - повторюваність результатів сканування. Захищено 36 наукових праць, що містять результати дослідження рельєфу та механічних характеристик нанометричних елементів методом атомно-силової мікроскопії з використанням зондів модифікованих функціональними покриттями.