Встановлено фактори та досліджено процеси, що впливають на точність діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні. Проведено модифікування вуглецевим покриттям інструменту атомно-силового мікроскопу, а саме - кремнієвого зонду. Розроблено спосіб зняття електростатичного заряду та визначено оптимальні режими роботи атомно-силового мікроскопу в результаті чого в 2,5 - 3 рази зменшується кількість артефактів, на 25 - 30 % підвищується термін служби та у 1,4 - 3,4 раза - повторюваність результатів сканування. Захищено 36 наукових праць, що містять результати дослідження рельєфу та механічних характеристик нанометричних елементів методом атомно-силової мікроскопії з використанням зондів модифікованих функціональними покриттями.