В работе проанализирована оптическая юстировка фазового компенсатора с недиагональной матрицей Джонса. Получено соотношение, которому удовлетворяют три комплексных параметра компенсатора.

Дисертацію присвячено обгрунтуванню та розробці основних шляхів досягнення граничних можливостей методу еліпсометрії. Розроблено способи подолання основних труднощів на шляху практичної реалізації однозонної методики еліпсометричних вимірювань та нову науковообгрунтовану метрологію в еліпсометрії, в основі якої лежить однозонна методика. Намічена схема проведення метрологічних робіт. Розроблено методи розв'язання зворотної задачі еліпсометрії. Показано, що статистичний підхід до розв'язання некоректної задачі еліпсометрії для надтонких поверхневих плівок, який пропонує нові критерії вибору оптимальної точки, приводить до сталих результатів і дозволяє успішно досліджувати поверхневі плівки товщиною від 2 до 10 нанометрів.

Індекс рубрикатора НБУВ: Р457.465.6

Шифр НБУВ: Ж22874 Пошук видання у каталогах НБУВ