Бочаров Л. Ю. Состояние и перспективы развития микроэлектромеханических систем за рубежом / Л. Ю. Бочаров, П. П. Мальцев // Искусств. интеллект. - 2001. - № 3. - С. 599-606. - Библиогр.: 6 назв. - рус.
Рассмотрены основные зарубежные проекты и достижения в области микросистемной техники, а также проведена оценка микроэлектромеханических систем с помощью коэффициента качества в виде суммы числа транзисторов и числа механических компонент.