Исследованы спектры пропускания в инфракрасной области спектра пластин германия с двусторонним просветлением пленками карбида кремния, полученными методом ионно-плазменного распыления. Установлено, что нанесение даже однослойного покрытия позволяет достичь максимального значения пропускания до 70 - 90 %, в зависимости от условий получения пленок. Полученные пленки характеризуются высокой термической стабильностью и, по сравнению с гидрогенизированными углеродными пленками, более устойчивы к воздействию быстрых термических отжигов.