Простий пошук
Розширений пошук
Алфавітні покажчики

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Віртуальна довідка
Тематичний інтернет-навігатор
Наукова електронна бібліотека
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Mozilla Firefox Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер
"Mozilla Firefox"
Вид пошуку
Формат представлення знайдених документів:
повнийстислий
 Знайдено в інших БД:Книжкові видання та компакт-диски (1)
Пошуковий запит: (<.>A=Голокоз П$<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1
      
Категорія:    
1.

Голокоз П. П. 
Гидрогенизация аморфного кремния методом низкоэнергетичной имплантации изотопов водорода / П. П. Голокоз, А. В. Коваленко, Н. Ф. Коломиец, В. В. Скурский // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 1998. - № 33. - С. 154-156. - Библиогр.: 7 назв. - рус.

Исследована возможность гидрогенизации пленок аморфного кремния методом низкоэнергетичной ионной имплантации. Получены температурные зависимости удельного сопротивления аморфного кремния, выращенного методом газофазного осаждения при разложении силана, дегидрогенизированного аморфного кремния и постгидрогенизированного методом ионной имплантации с последующим отжигом. Подтверждена возможность гидрогенизации плоскостных аморфных кремниевых структур имплантируемыми низкоэнергетичными ионами изотопов водорода, что расширяет технологические возможности создания высокоэффективных тритиевых батарей - атомных элементов питания.


Індекс рубрикатора НБУВ: В379.224

Рубрики:
 Склоподібні напівпровідники 

Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ 
 

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського