1. |
Кирпенко К. В. Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса / К. В. Кирпенко, А. В. Недоля, И. Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. - 2014. - 36, № 6. - С. 735-743. - Библиогр.: 9 назв. - рус.В рамках математической модели, которая учитывает конвективный теплообмен с поверхностью образующегося осадка в условиях лазерного CVD-процесса, рассчитаны распределения температурного поля и определены условия формирования осадка на диэлектрической подложке при пиролитическом разложении тетракарбонила никеля и карбонилов других переходных металлов. С помощью метода конечных элементов рассчитаны профили осадков металлов, которые хорошо согласуются с экспериментальными данными. Определены параметры лазерного излучения, при которых реализуется пиролиз карбонилов и осаждение металлов на подложку, а также размерные параметры осадков переходных металлов. Індекс рубрикатора НБУВ: К663-1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ
|