1. |
Кременчуцкая М. К. Метод теневой электронной микроскопии и оценка параметров шероховатости микроизделий / М. К. Кременчуцкая // Металлофизика и новейшие технологии. - 2000. - 22, № 9. - С. 46-49. - Библиогр.: 9 назв. - рус.Розглянуто варіант тіньової електронної мікроскопії, що стосується безпосередньо центрального проектування тіньового зображення мікрооб'єкта, наприклад в електронографі. Наведено застосування вказаного методу до кількісної оцінки параметрів шорсткості мікровиробів. Ключ. слова: микроскопия, шероховатость, деформационный рельеф, электронограф, микропровод Індекс рубрикатора НБУВ: К63-188с3
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ
|