1. |
Лунев И. В. Структура и свойства тонких пленок оксида алюминия, полученных методом магнетронного распыления / И. В. Лунев, В. Г. Падалка // Металлофизика и новейшие технологии. - 2000. - 22, № 2. - С. 36-41. - Библиогр.: 7 назв. - рус. Ключ. слова: оксид алюминия, магнетронное распыление, фазовый состав, электрическая прочность, микротвердость Індекс рубрикатора НБУВ: К233.102.6 + К663.030.022
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ
|