Показано, что результат квазиравновесной конденсации в накопительной системе плазма - конденсат зависит от стационарности технологического процесса, которая в общем случае определяется постоянством пересыщения, морфологией и кристаллографическим строением ростовой поверхности, а также разбросом энергии распыленных атомов. На основании модельных представлений с использованием метода Монте-Карло установлен эффект усреднения энергии распыленных атомов при их движении в плазме повышенного давления. На основании экспериментальных результатов, связанных с получением конденсатов алюминия вблизи термодинамического равновесия, установлено снижение дисперсности пленок при повышении давления рабочего газа свыше 2,4 Па, что подтверждает стационарность технологического процесса.

В рамках двумерного метода мультифрактального флуктуационного анализа исследовано самоподобие распределения конденсатов углерода, алюминия и титана, полученных методом магнетронного распыления. Показано, что фрактальная структура наиболее ярко проявляется с ростом масштаба распределения фрагментов конденсата.

Приведены объяснения механизмов структурообразования низкоразмерных пористых систем на основании различной скорости роста локальных областей поверхности конденсата и неполной коалесценции структурных фрагментов. При помощи растровой и просвечивающей электронной микроскопии изучены механизмы формирования пористых конденсатов Ti на стеклянных подложках и сколах KCl. На примере самосборки пористых слоев Ti показано, что основу подобного процесса составляют самоорганизация постоянного во времени критически малого эффективного пересыщения и непрерывное чередование взаимозависимых структурно-морфологических изменений ростовой поверхности.