Простий пошук
|
Розширений пошук
|
Алфавітні покажчики
|
Бази даних
Реферативна база даних - результати пошуку
Віртуальна довідкаТематичний інтернет-навігаторНаукова електронна бібліотекаАвтореферати дисертаційРеферативна база данихКнижкові видання та компакт-дискиЖурнали та продовжувані видання
 |
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
| Формат представлення знайдених документів: | ||
| повний | стислий | |
Пошуковий запит: (<.>A=Навицкас Р$<.>) | |||
|
Загальна кількість знайдених документів : 1 |
|||
| 1. | Навицкас Р. Эволюция микроструктур масок в процессах поперечного травления / Р. Навицкас // Электроника и связь. - К., 2001. - № 11. - С. 34-36. - Библиогр.: 4 назв. - рус. В процессах поперечного травления изменяются толщина и профиль маскирующих слоев. Полученные аналитические зависимости позволяют выполнять инженерный анализ при разработке технологии и топологии интегральных компонентов и схем, также микросистем с датчиками балочных конструкций. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.15-06 Рубрики: Шифр НБУВ: Ж69367 Пошук видання у каталогах НБУВ | ||
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського