Изучены закономерности и артефакты формирования информационного рельефа при помощи высокочастотного травления (ВТ) в кварцевом и борофосфорсиликатных стеклах. Реализация ВТ осуществлена в масс-спектрометре.

Ключ. слова: керамика, плазмохимическое травление, информационный рельеф
Індекс рубрикатора НБУВ: Л420.7

Рубрики:

Випалювання керамічних виробів

Шифр НБУВ: Ж16550 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Наведено задачу розділення ринку банківських послуг на зони впливу банків. Задачу розв'язано на базі використання апарата бінарних нечітких відношень, що дозволило наблизити побудовану модель до реальних умов.

Исследованы многослойные периодические структуры Mo/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц. Из спектров дифракции рентгеновских лучей определены скорости нанесения слоёв при различных техноогических условиях. Моделирование спектров дифракции многослойных структур и сопоставление их с экспериментальными результатами показали, что на границах раздела фаз формируется силицид молибдена. Измерения распределения примесей по толщине подтвердили наличие слоев силицида на границе раздела фаз, а также обнаружили слои оксидов; проведены оценки толщин последних. Найдены оптимальные режимы распыления структур при послойном примесном масс-спектрометрическом анализе, которые позволили получить разрешающую способность метода по глубине не хуже 1,0 нм при профилировании до глубины 100 нм. Показано, что разрешение этого метода ограничивается формой и шероховатостью дна кратера при ионном травлении и зависит от энергии ионов плазмы и режимов травления.

Індекс рубрикатора НБУВ: К232.302.6 + К35

Рубрики:

Виробництво аморфних металів і сплавів

Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Исследован механизм взрывной кристаллизации аморфных пленок кобальта, выращенных на аморфном углероде в отсутствии и при наличии сильного неоднородного магнитного поля. Установлено, что ключевым фактором для реализации взрывной кристаллизации является углерод, поступающий в пленку кобальта из работающего C-магнетрона во время осаждения слоя кобальта. Легирование растущей пленки кобальта атомами углерода приводит к затягиванию стадии существования кобальта в аморфно-кластерном состоянии до большей номинальной толщины пленки. Магнитное поле не оказывает влияния на содержание углерода в пленках кобальта, которое примерно одинаково и составляет 3 - 5 ат.%. Показано, что неоднородное магнитное поле увеличивает критическую толщину, при которой начинается взрывная кристаллизация. В пленках, полученных без магнитов в вакуумной камере, взрывная кристаллизация реализуется в интервале номинальных толщин от 8,0 до 8,5 нм. В пленках, полученных непосредственно на магните, процесс взрывной кристаллизации происходит в интервале номинальных толщин от 10,0 до 10,5 нм.

Исследован механизм взрывной кристаллизации аморфных пленок кобальта, выращенных на аморфном углероде в отсутствии и при наличии сильного неоднородного магнитного поля. Установлено, что ключевым фактором для реализации взрывной кристаллизации является углерод, поступающий в пленку кобальта из работающего C-магнетрона во время осаждения слоя кобальта. Легирование растущей пленки кобальта атомами углерода приводит к затягиванию стадии существования кобальта в аморфно-кластерном состоянии до большей номинальной толщины пленки. Магнитное поле не оказывает влияния на содержание углерода в пленках кобальта, которое примерно одинаково и составляет 3 - 5 ат.%. Показано, что неоднородное магнитное поле увеличивает критическую толщину, при которой начинается взрывная кристаллизация. В пленках, полученных без магнитов в вакуумной камере, взрывная кристаллизация реализуется в интервале номинальных толщин от 8,0 до 8,5 нм. В пленках, полученных непосредственно на магните, процесс взрывной кристаллизации происходит в интервале номинальных толщин от 10,0 до 10,5 нм.