Наведено результати експериментальних досліджень методом ВІМС дифузійних процесів у двошаровій плівковій системі Cu/Cr. Встановлено взаємний зв'язок між електрофізичними властивостями (зменшення опору при відпалюванні) і процесами дифузії елементів, які зумовлюють зменшення коефіцієнта розсіювання електронів на межі зерен.

Установлено, что при конденсации металлических пленок в условиях технологического вакуума происходит образование аномальных модификаций, которые не всегда наблюдаются в массивных образцах. На основе анализа литературных и собственных экспериментальных или расчетных данных сделан вывод о том, что эти фазы стабилизируются в результате действия примесного размерного эффекта и являются фазами внедрения газов остаточной атмосферы в решетку металла.

Исследован магниторезистивный эффект мультислоев Pd/Fe в зависимости от количества фрагментов (до 10) и толщины слоя Pd (0,4 - 1,4 нм). Показано, что при изменении количества фрагментов от 3 до 10 происходит увеличение магнитосопротивления (МС) на 0,05 - 0,19 %, а в отожженных до 780 K образцах - на 0,02 - 0,16 %. При изменении толщины немагнитной Pd-прослойки в свежесконденсированных образцах МС увеличивается на 0,6 - 1,4 %, а в отожженных - на 0,5 - 0,03 %. Дополнительный слой Cu, толщина которого составляет 10 % общей толщины мультислоев, приводит к понижению величины магнитного поля насыщения на 0,3 Тл.