Проаналізовано взаємозв'язок між магніторезистивними та електрофізичними властивостями плівкових матеріалів, зокрема, мультишарів і гранульованих сплавів, а також структурно-фазовим станом, процесами взаємної дифузії атомів та інтерфейсним розсіюванням електронів у багатошарових металевих плівках, визначено їх тензочутливість. Розглянуто питання застосування тензорезисторів на основі плівкових матеріалів.

Проанализирована взаимосвязь между магниторезистивными и электрофизическими свойствами пленочных материалов, в частности, мультишаров и гранулированных сплавов, а также структурно-фазовым состоянием, процессами взаимной диффузии атомов и интерфейсным рассеиванием электронов в многослоевых металлических пленках, определена их тензочувствительность. Рассмотрены вопросы применения тензорезисторов на основе пленочных материалов.

Проаналізовано основні експериментальні роботи, присвячені вивченню структурних, магнітних, магніторезистивних та інших властивостей нанодротів, а також методику їх одержання.

Ключ. слова: інтерфейсне розсіювання, плівкові матеріали
Індекс рубрикатора НБУВ: К202.6 + В378.26

Рубрики:

Тонкі шари (плівки) металів і сплавів

Тонкі шари металів

Шифр НБУВ: Ж69231 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Проаналізовано літературні дані про сучасний стан проблеми інтерфейсного розсіювання електронів та електричного опору інтерфейсу в багатошарових плівкових системах. Наведено результати дослідження дифузійних процесів за допомогою методів ВІМС і ОЕС у плівкових системах Au/Co і Fe/Cu. На підставі електронно-мікроскопічних досліджень зроблено висновок про утворення у плівкових системах Au/Co, Ag/Co і Fe/Cu твердих розчинів (Au-Co) і (Ag-Co) із елементами гранульованого стану та псевдосплаву (Fe-Cu).

Представлено узагальнені літературні дані та результати власних експериментальних досліджень структурно-фазового стану, стабільності інтерфейсів та електрофізичних властивостей (термічний коефіцієнт опору (ТКО) і коефіцієнт поздовжньої тензочутливости (КТ)) двошарових плівкових систем Cu/(Co, Ag або Au), Cu/(Cr або Fe) та Fe/Cr. Вибір указаних систем пов'язаний із стабілізацією в них різних структурно-фазових станів: гранульованих твердих розчинів (систем на основі Cu і Co, Ag або Au), твердого розчину (Fe/Cr), двошарових систем із збереженням індивідуальності окремих шарів (біпластин) (систем Cu/Cr і Cu/Fe (до 700 К)). Експериментальні результати з ТКО і КТ задовільно або добре узгоджуються зі співвідношеннями для ТКО і КТ біпластини, плівкового стопу або двошарової системи із проміжним шаром твердого розчину біля інтерфейсу. Це слугує додатковим аргументом на користь висновків про структурно-фазовий стан двошарової системи.

Запропоновано чутливий елемент датчика тиску, який формується на базі багатошарової плівкової системи на основі шарів Cr і Cu або Fe. Представлено результати досліджень робочих характеристик датчика тиску на основі систем Fe/Cr та Cu/Cr, а також аналіз процесів дифузії та фазоутворення на межі поділу шарів і проблему стабільності інтерфейсів.

Установлено особливості фізичних процесів у багатошарових плівкових системах на основі Cu і Cr, або Ag та Fe і Cr або Cu, які можуть бути використані як чутливі елементи датчиків температури, деформації та тиску. Запропоновано методику оцінювання внеску інтерфейсного розсіювання електронів у загальну величину питомого опору, температурного коефіцієнта опору (ТКО) і коефіцієнта тензочутливості (КТ). Розраховано внесок об'ємного, поверхневого, зерномежового й інтерфейсного розсіювання електронів у загальну величину ТКО та КТ. Зроблено розрахунок статистичної ваги кожного з цих механізмів розсіювання електронів. Показано, що робочі характеристики чутливих елементів датчиків теператури, деформації та тиску можуть бути покращані за рахунок інтерфейсного розсіювання. Проаналізовано особливості процесів дифузії та фазоутворення у двошарових плівкових системах, компоненти яких мають різну взаємну розчинність. Вивчено проблему стабільності інтерфейсів.

Надано аналіз експериментальних даних стосовно магніторезистивних властивостей гранульованих плівкових сплавів на основі Ag та Co. Проаналізовано питання про вплив на величину магнітоопору режимів термообробки, концентрації магнітної компоненти та інших факторів. Здійснено порівняння одержаних експериментальних даних із магніторезистивного ефекту з літературними даними.

Індекс рубрикатора НБУВ: К230.26 + В378.26 + В378.712

Рубрики:

Тонкі шари (плівки) кольорових металів

Тонкі шари металів

Електропровідність. Електричний опір .

Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Індекс рубрикатора НБУВ: В378.26 + В378.73 + К232.202.6

Рубрики:

Тонкі шари металів

Магнітні властивості металів

Тонкі шари (плівки) нікелю та його сплавів

Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Індекс рубрикатора НБУВ: К234.302.6 + В378.26 + В378.7

Рубрики:

Тонкі шари металів

Електричні і магнітні властивості металів

Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Наведено експериментальні результати та літературні дані стосовно структурно-фазового стану, магнітнотранспортних і магнітних властивостей плівок пермалою, одержаних за різними методами. Проаналізовано вплив умов одержання на структурно-фазовий стан плівкових зразків. Показано, що в тонких плівках пермалою виявляється анізотропний магнетоопір, величина якого в середньому становить 3 - 4 % за кімнатної температури. Одержано розмірні, концентраційні та температурні залежності анізотропного магнітоопору і коерцитивності.

Індекс рубрикатора НБУВ: К232.202.6 + В378.5 + В378.7

Рубрики:

Тонкі шари (плівки) нікелю та його сплавів

Термодинаміка металів

Електричні і магнітні властивості металів

Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Індекс рубрикатора НБУВ: К663.6-18 + В371.21 + В372.6

Рубрики:

Інші види покриттів металів

Наноструктури

Тонкі шари твердих тіл

Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Індекс рубрикатора НБУВ: К234.202.6 + К290.26

Рубрики:

Тонкі шари (плівки) срібла та його сплавів

Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Наведено експериментальні результати щодо електропровідності та магніторезистивних властивостей шаруватих структур на основі Fe та SiO, одержаних за допомогою методу пошарового електронно-променевого осадження у вакуумі. Показано, що величина питомого опору залежить від ефективної товщини шарів Fe, що зумовлено розмірними ефектами у плівкових матеріалах. Магніторезистивний ефект для свіжосконденсованих і відпалених шаруватих структур має анізотропний характер, а його величина не перевищує 0,1 % за кімнатної температури.