Определено, что ядерный сканирующий микрозонд представляет собой аппаратурный комплекс, в котором пучки легких ионов, ускоренные до энергий нескольких мегаэлектронвольт, фокусируются до размеров нескольких десятков нанометров. Рассмотрено современное состояние технологии микрозондов. Приведена теория расчета ионно-оптических характеристик зондоформирующих систем. Формализованы задачи оптимизации процесса формирования пучка в ядерном микрозонде. Предложены схемы формирования микрозонда. Описано технологию ядерных сканирующих микрозондов и указаны перспективные направления усовершенствования микрозондовых установок.