Рассмотрены методы и типы фигур коррекции оптического эффекта близости. Проведено моделирование процесса фотолитографии с использованием рассмотренных фигур. Результаты моделирования подтверждены экспериментом.

The different methods and types of optical proximity correction figures were considered in this work. The modeling of lithography process with OPC figures was carried out. The result of modeling was confirmed by experiment.

Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля. Моделирование технологических процессов изготовления субмикронных СБИС существенно уменьшает затраты на экспериментальные работы по оптимизации конструкции их элементов, в частности примесных профилей.

This work is devoted to the features of submicron CMOS VLSI producing technological processes and their simulation. The main attention is concentrated to the modeling of doping profile.

Розглянуто проблему інформаційного забезпечення бізнесу у розвинених країнах. Зазначено, що сфера бізнесу є найважливішим і найбільшим сектором інформаційного ринку. З іншого боку, світова практика показала, що інформація в електронній формі перетворилася у найважливіший компонент ринкової інфраструктури. Професійну роботу з інформацією покладено в основу сучасної маркетингової концепції управління виробничою діяльністю та реалізації товарів. Перераховано види інформації, а деякі з них (інформацію про підприємницьку діяльність, біржову інформацію) детально проаналізовано. Зроблено висновок про те, що нерозвиненість інфраструктури інформаційного обслуговування бізнесу у Росії свідчить про незрілість російського бізнесу, відсутність аналітичної роботи, отже, низьку конкурентоспроможність.

Рассмотрено информационное обеспечение бизнеса в развитых странах. Констатируется, что сфера бизнеса является важнейшим и самым большим по объему сектором информационного рынка. С другой стороны, мировая практика показала, что информация в электронной форме превратилась в важнейший компонент рыночной инфраструктуры. Профессиональная работа с информацией лежит в основе современной маркетинговой концепции управления производственной и сбытовой деятельностью. Перечислено виды информации, а некоторые из них (информация о предпринимательской деятельности, биржевая информация) подробно проанализированы. Сделан вывод о том, что неразвитость инфраструктуры информационного обслуживания бизнеса в России свидетельствует о незрелости российского бизнеса, об отсутствии аналитической работы, следовательно, низкой конкурентоспособности.

Information support of business in the developed countries is discussed. Business is the major and the most important sector of the information market. On the other hand, the world experience proves that information in electronic formats has become the most significant component of market infrastructure. Professional information handling forms the basis for the modern marketing concept of production and sales management. The paper specializes the types of information and analyzes in detail several ofthem (information on business activity, stock market information, etc.). The paper concludes that the underdevelopment of information services in Russia evidences that Russian business is immature, too, that it lacks analytical services, and, consequently, it is low competitive.