1. |
Сілкін М. Ю. Формування та діагностика пучків іонів для іонно-променевих методів модифікації поверхні : автореф. дис. ... канд. фіз.-мат. наук : 01.04.20 / М. Ю. Сілкін; ННЦ "Харк. фіз.-техн. ін-т". - Х., 2011. - 19 c. - укp.Проведено числове моделювання розширення плазмово-пучкового потоку в область аноду з експандером і розв'язано задачу оптимізації параметрів емісійної системи з перерозподілювальним електродом за допомогою розробленого програмного комплексу TORCH. На підставі експериментальних і числових досліджень оптимізовано експандер розробленого джерела іонів завдяки зміні його геометрії та введенням перерозподілювального електроду. Це дозволяє зменшити нерівномірність розподілу щільності струму пучка за перерізом, яка стала нижче 5 %, та збільшити струм пучка. Експериментально встановлено залежність амплітудного спектру сигналів акустичної емісії (АЕ) й їх інтенсивності від дози імплантації та щільності струму іонного пучка. На підставі досліджених залежностей АЕ запропоновано та реалізовано альтернативний електричному, радіаційно-акустичний метод контролю іонного опромінювання, заснований на кореляції параметрів АЕ (інтенсивності АЕ, сумарної АЕ, амплітудного спектру сигналів АЕ) з мікротвердістю та структурою сплаву. Реалізовано широтно-імпульсний режим роботи джерела з великим діапазоном незалежного регулювання газового та металевого компоненту іонного струму, регулювання та стабілізації середнього струму іонів. Індекс рубрикатора НБУВ: В381.105.5,022 + В381.2,022 + К558
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА384653 Пошук видання у каталогах НБУВ
|