Описано одержання плівок Ni - P, Co - P та Co - Ni - P на підкладках зі сплаву Al - Mg методом високочастотної магнетронної розпилювальної системи, наведено результати їх аналізу.

Наведено результати, що стосуються змін складу, структури та властивостей плівок, зумовлених змінами енергетичного спектра атомів, що конденсуються. Розподіл атомів за енергією визначено моделюванням за допомогою методу Монте-Карло. Показано, що під час осадження фаз з високими температурами плавлення (системи V - B і Zr - B) провідну роль у процесах фазоутворення та формування структури зерна відіграє енергія, з якою адатоми надходять на поверхню конденсації.

Проанализирована возможность получения наноструктурных пленок химических соединений. Показано, что высокодисперсные пленочные структуры продуктов твердофазных реакций независимо от метода их получения формируются в условиях высокой скорости осаждения атомов на подложку, предопределяющей высокое пересыщение, нормальный механизм роста и, как следствие, высокие скорости образования трехмерных критических зародышей нарастающей фазы и низкие скорости их бокового роста. Установлено, что пленки, полученные методом ионной имплантации, формируются в условиях небольших скоростей осаждения, растут преимущественно послойно, затрудняя образование наноструктур химических соединений.