Індекс рубрикатора НБУВ: В372.6

Рубрики:

Тонкі шари твердих тіл

Шифр НБУВ: Ж28502 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Ключ. слова: аморфний вуглець, конденсація, тонкі плівки, електричні властивості, графіт, іонне боомбардування, структура, розпилення
Індекс рубрикатора НБУВ: К663.4-18

Рубрики:

Покриття металів органічними плівками

Шифр НБУВ: Ж28502 Пошук видання у каталогах НБУВ 

На прикладі нанокомпозиційних плівкових матеріалів (W, Ti)N (магнетронне реакційне розпилення сплаву W - 30 % (ат.) Ti) та TiN - Cu (реакційне вакуумно-дугове випарювання титану з одночасним магнетронним розпиленням міді) вивчено механізм підвищення їх твердості. На підставі дослідження складу, структури та мікротвердості конденсатів, що одержували за різними режимами осадження, встановлено кореляцію між мікротвердістю та структурою плівок. Показано, що мікротвердість матеріалу на основі (W, Ti)N знаходиться у зворотній залежності від розміру зерна. Механізмом, який лімітує ріст зерен, є обмеження рухливості плівкотвірних частинок та їх доступу до зерен, які формуються присутніми на поверхні росту молекулами нітридів WN та TiN. Аналогічний механізм діє і під час формування композиційного покриття на основі твердої (TiN) та м'якої металічної (Cu) фаз. У даному випадку інгібітором росту зерна є атоми міді, які не взаємодіють з нітридом титану та витісняються на межі зерен нітриду, що перешкоджає їх росту.

Установлено, что покрытия высокоэнтропийного эквиатомного сплава Al - Cr - Fe - Co - Ni - Cu - V, полученные магнетронным распылением, имеют нанокристаллическую микроструктуру, текстурированы и представляют собой твердый двухфазный раствор, кристаллизующийся в фазах ОЦК (a = 2,91 ангстрем) и ГЦК (a = 3,65 ангстрем). Ионная бомбардировка растущего покрытия, создаваемая прикладываемым к подложке напряжением смещения (0 - ( - 200) В) снижает скорость роста конденсата и влияет на его состав и структуру. Показано, что состав покрытий, осажденных без ионной бомбардировки, совпадает с составом мишени, а повышение интенсивности ионной бомбардировки приводит к его обеднению по Al, Cu и Ni и увеличивает микротвердость покрытий. Выявлена анизотропия полученных покрытий.

Исследованы полученные различными методами напыления металлические и нитридные покрытия из высокоэнтропийных сплавов (ВЭС) с различным фазовым составом. Показано, что для высокоэнтропийных покрытий характерно наличие наноструктурного состояния, которое, наряду с кластерным строением, обеспечивает для металлических покрытий твердость ~ 10 - 19 ГПа; для нитридных покрытий характерны значения твердости равные 50 - 60 ГПа и приведенного модуля упругости - более 300 МПа. Отношение параметров решеток, определенных экспериментально, к параметру решетки самого тугоплавкого металла в ВЭС отражает уровень модуля упругости по отношению к теоретически возможному как в литых ВЭС, так и металлических покрытиях на их основе.

Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033-18

Рубрики:

Металізація металів розпилюванням (шоопірування)

Шифр НБУВ: Ж28502 Пошук видання у каталогах НБУВ