Запропоновано методику знаходження розширеної невизначеності для випадку, коли результат непрямого вимірювання зв'язаний із результатами безпосередніх вимірювань адитивно. Показано, що апроксимація композиції законів розподілу рядом Еджворта дозволяє одержати аналітичний вираз щільності ймовірності величини, що вимірюється непрямим способом. Визначено межі застосування розробленої методики. Наведено таблицю значень коефіцієнтів покриття залежно від значень коефіцієнтів асиметрії та ексцесу вимірюваної величини.

Запропоновано метод мінімізації випадкової похибки за умов вимірювання тестами із закритими завданнями за допомогою розширення первинної вимірювальної інформації. Проведено експериментальну перевірку запропонованого методу, яка підтвердила його ефективність. Наведено структуру інформаційної системи для реалізації розробленого методу тестування.

Індекс рубрикатора НБУВ: З261-042

Рубрики:

Електричні машини. Електромашинобудування

Шифр НБУВ: Ж66608 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Запропоновано вдосконалену методику калібрування растрових електронних мікроскопів у діапазоні 10-9-10-6 м, яка забезпечує автоматичне визначення масштабного коефіцієнта відеозображення та ефективного діаметра електронного зонда. Запропонована методика дає змогу автоматизувати процес калібрування, підвищити його точність і забезпечити впровадження концепції невизначеності вимірювань.

Предложена усовершенствованная методика калибровки растровых электронных микроскопов в диапазоне 10-9-10-6 м, обеспечивающая автоматическое определение масштабного коэффициента видеоизображения и эффективного диаметра электронного зонда. Предложенная методика позволяет автоматизировать процесс калибровки, повысить ее точность и обеспечить внедрение концепции неопределенности измерений.

Proposed improvement of calibration method for scanning electron microscopes in range 10-9-10-6 m, which provides automatic estimations of videoimage scaling factor and effective diameter of electron probe. Proposed method allows automation of calibration process, improves its accuracy and provides implementation of measurement uncertainty concept.

Проаналізовано основні складові невизначеності під час калібрування растрових електронних наноскопів в нанометровому діапазоні вимірювання та визначено шляхи підвищення точності калібрування, побудови альтернативних стандартних зразків із меншою невизначеністю нормованих параметрів.

Наведено огляд та аналіз сучасних засобів наноскопії. Обгрунтовано використання растрових електронних мікроскопів як засобів вимірювання лінійних розмірів нанорозмірних об’єктів. Розглянуто основні засоби та методи оцінювання характеристик точності растрових електронних мікроскопів.

Проведен обзор и анализ современных средств наноскопии. Обосновано использование растровых электронных микроскопов как средств измерения линейных размеровнаноразмерных объектов. Рассмотрены основные средства и методы оценивания точностных характеристик растровых электронных микроскопов.

Modern instruments for nanoscopy were reviewed and analyzed. Substantiated usage of scanning electron microscopes as instruments for nanoscale objects linear dimensions measuring. Considered basic instruments and methods for scanning electron microscopes accuracy characteristics estimation.

Удосконалено методи та засоби калібрування для вимірювальних растрових електронних мікроскопів (РЕМ), що дозволяє підвищити точність оцінювання метрологічних характеристик (МХ) у процесі виконання процедури калібрування РЕМ для забезпечення вимірювання лінійних розмірів у нанометровому діапазоні, зокрема, в субдіапазоні від 10 nm до 100 nm. Запропоновано новий метод калібрування РЕМ поетапним наближенням. Розроблено узагальнену модель вимірювального сигналу одержаного на РЕМ, складовими якої є вимірювальна, емпірична і ідеалізована, сумісний розгляд яких дозволяє одержати точні оцінки MX РЕМ та обчислити їх розширену невизначеність. Розроблено методику оцінювання розширеної невизначеності результату оцінювання MX РЕМ. Запропоновано використання швидкості розповсюдження поверхневих акустичних хвиль під час відтворення довжини та розроблено стандартний зразок для калібрування РЕМ у нанометровому діапазоні.