Описано модель утворення наноструктурних матеріалів у разі осадження кластерних потоків. Кластери сферичної форми з заданою функцією розподілу за розмірами падають і прилипають до структури, що росте на підкладці. Ймовірність прилипання контролюється критичним кутом скочування по поверхні структури. Показано, що можна одержати різноманітні структури подібні до тих, що спостерігаються експериментально. Щільність структур, пороги протікання, поверхневу шорсткість досліджено залежно від параметрів моделі.