Досліджено фотоакустичний метод неруйнівного контролю якості матеріалів і виробів електронної техніки, підвищення його якісних параметрів за рахунок оптимізації п'єзоелектричної реєстрації сигналів. За результатами теоретичних і практичних досліджень п'єзоперетворювачів різного типу, умов їх роботи запропоновано та застосовано у фотоакустичній мікроскопії конструкцію прямокутного п'єзодатчика біморфного типу, що призвело до зниження порога чутливості мікроскопа до 2 мкм. Закономірності, отримані внаслідок математичного моделювання фотоакустичної мікроскопії з п'єзоелектричною реєстрацією, та використання оптимізованої конструкції п'єзодатчика, дозволили дослідити з більшою ефективністю продукцію електронної техніки, в тому числі, інтегральні мікросхеми, мікрозварні з'єднання, тонкоплівкові покриття, багатошарові структури, та оцінити їх якість за контрастом отриманих фотоакустичних зображень.

  Скачати повний текст