Розглянуто вплив вмісту оксиду-стабілізатора, радіуса катіона М' та температури осадження на стабілізацію флюоритоподібних твердих розчинів у вакуумних конденсатах на основі оксидів цирконію та гафнію, одержаних за допомогою методу лазерного випаровування. Визначено оптимальні параметри нанесення ізотропних термостабільних покриттів. Одержані результати пояснено з урахуванням особливостей протікання надшвидкої вакуумної конденсації.