Розроблено спосіб вимірювання координат осі обертання вала шпиндельної опори, а на його базі розроблений пристрій стабілізації радіального положення осі обертання вала цієї опори. На підставі інформації про осьові збурювальні діяння та температурну деформацію вала опори розроблено спосіб і інформаційно-керувальний пристрій стабілізації осьового положення площини планшайби суперпрецизійної аеростатичної шпиндельної опори. Розроблено спосіб і інформаційно-керувальний пристрій вимірювання осьової складової сили різання для забезпечення мінімального ущільнення металооптичної дзеркальної поверхні. Розроблено спосіб стабілізації положення рухомого вузла суперпрецизійної аеростатичної лінійної напрямної відносно нерухомої у просторі плоскості та конструкцію суперпрецизійної лінійної напрямної з аеростатичними компенсаторами зміщення рухомого вузла. Розглянуто шляхи підвищення точності стабілізації положення рухомого вузла. Наведено алгоритм переміщення вершини різця по разрахунковій траєкторії та корекції її положення за координатами Х і Y з встановленим інтервалом корекції. Розроблено інформаційно-керувальний пристрій переміщення вершини різця по розрахунковій траєкторії та технологію точіння особливо точних елементів оптики та механіки на суперпрецизійному двокоординатному верстаті на прикладі точіння сферичної дзеркальної поверхні.

  Скачати повний текст