Досліджено існуючі та розроблено нові методи, моделі та засоби інформаційних технологій аналізу та синтезу акустичних елементів мікроелектромеханічних систем (МЕМС), які дозволяють ефективно застосовувати інформаційні технології у процесі розробки МЕМС. Розроблено новий метод автоматизованого синтезу моделей для оптимізації конструкцій базових акустичних елементів МЕМС, який базується на побудованих продукційних правилах, розробленому алгоритмі й інформаційній моделі, що дозволяє дослідити значення чутливості інтегральних пристроїв, з урахуванням технологічних, конструктивних і функціональних обмежень. Удосконалено макромоделі базових акустичних інтегральних пристроїв для аналізу та синтезу МЕМС, які базуються на теорії коливних систем і враховують нелінійні процеси та констуктивно-технологічні особливості, що дозволяє підвищити універсальність макромоделей і точність визначення вихідних параметрів базових елементів. Удосконалено мікромоделі базових акустичних інтегральних елементів, які базуються на рівняннях у частинних похідних і використанні числових методів для розв'язання крайових задач і, на відміну від існуючих, дозволяють враховувати анізотропію пружного елемента, конструктивні та технологічні особливості виготовлення акустичних елементів. Удосконалено метод застосування інформаційних технологій для автоматизованого синтезу мікромоделей базових інтегральних елементів, який базується на побудованому алгоритмі, розроблених продукційних правилах та інформаційних моделях з використанням XML-формату та забезпечує синтез мікромоделей з високим рівнем автоматизацієї.

  Скачати повний текст