|
ВА612093 Данилина, Тамара Ивановна. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС [Текст] : учеб. пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Томский гос. ун-т систем управления и радиоэлектроники. - Томск : [б.и.], 2000. - 140 с.: рис. - Библиогр.: с.137-140.
Тематичний рубрикатор:
Дод. точки доступу: Смирнов, Серафим Всеволодович; Томский гос. университет систем управления и радиоэлектроники
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|