ВА624417

Научные основы разработки технологий и оборудования микроэлектроники [Текст] : межвуз. сб. / ред. В. В. Гусев, М. Л. Минкин ; Московский гос. ин-т электронной техники (технический ун-т). - М. : МИЭТ, 2000. - 275 с.: рис. - Библиогр.: в конце статей.

Тематичний рубрикатор:


Дод. точки доступу:
Гусев, В. В. (ред.); Минкин, М. Л. (ред.); Московский гос. институт электронной техники (технический университет)

Видання зберігається у :
Основний фонд