|
|
ДС50434
Панкевич, Ігор Миронович.
Прогнозування та модифікація лазерним випрмінюванням властивостей шарів полікремнію в структурах "кремній-на-діелектрику" [Текст] : дис... канд. техн. наук: 05.27.01 / Панкевич Ігор Миронович ; Державний ун-т "Львівська політехніка". - Львів, 1996. - 162 л.
Тематичний рубрикатор:
Дод. точки доступу:
Державний університет "Львівська політехніка"
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|