|
|
ВС46262
Технология материалов микро- и наноэлектроники [Текст] : [монография] / Л. В. Кожитов [и др.]. - М. : МИСиС, 2007. - 544 с.: рис., табл. - (Металлургия и материаловедение XXI века). - Библиогр.: в конце глав.
Тематичний рубрикатор:
Дод. точки доступу:
Кожитов, Лев Васильевич; Косушкин, Виктор Григорьевич; Крапухин, Всеволод Валерьевич; Пархоменко, Юрий Николаевич
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|