|
|
MFI4489/1-3
Harf-Bapin, Elisabeth Ines.
PECVD of SiO2-like thin films under continuous wave and pulsed modes [Text] : diss. / E. I. Harf-Bapin ; Swiss Federal Institute of technology Zürich. - Zürich : [б.в.], 2001. - 176 p.: fig. - (ETH-Diss ; 14355).
Тематичний рубрикатор:
Дод. точки доступу:
Swiss Federal Institute of technology Zürich
Видання зберігається у :
|
|