|
|
МFI 3760/1-3
Hofler, Alexander.
Development and application of a model hierarchy for silicon process simulation [Text] : diss. / A. Hofler ; Swiss Federal institute of technology Zürich. - Zürich : [б.в.], 1997. - 200 p.: fig. - (Diss ETH ; 12330).
Дод. точки доступу:
Swiss Federal institute of technology Zürich
Видання зберігається у :
|
|