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ІС13725
Güttler, Dominik.
An investigation of target poisoning during reactive magnetron sputtering [Text] : diss. / D. Güttler ; Fakultät Mathematik und Naturwissenschaften der Technischen Universität Dresden. - Dresden : Forschungszentrum, 2008. - V, 112 p.: fig. - (Wissenschaftlich-Technische Berichte, ISSN 1437-322X). - Бібліогр.: p. 105-112.
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Fakultät Mathematik und Naturwissenschaften der Technischen Universität Dresden
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