|
|
РА290908сл
Жолудев, Геннадий Кузьмич.
Исследование процессов геттерирования в ионно- имплантированных полупроводниковых структурах [Текст] : автореф. дис... канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Жолудев Геннадий Кузьмич ; АН УССР, Ин-т полупроводников. - К., 1990. - 16 с.
Тематичний рубрикатор:
Дод. точки доступу:
Академия наук Украинской ССР (Киев); Институт полупроводников (Киев)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|