|
РА281433 Свадковский, Игорь Витальевич. Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергии обрабатывающих ионов 1000-2000эВ [Текст] : автореф.дис.канд.техн.наук:05.27.06 / Свадковский Игорь Витальевич ; Минский радиотехнический ин-т. - Минск, 1993. - 20 с.
Тематичний рубрикатор:
Дод. точки доступу: Минский радиотехнический институт
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|