|
РА418769 Журавльов, Олександр Юрійович. Осадження гетероепітаксійних Si1-x-Gex структур газофазним, плазмохімічним і сублімаційним методами [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.02.01 / Журавльов Олександр Юрійович ; НАН України, Ін-т монокристалів. - Харків, 2015. - 20 с. : рис.
Тематичний рубрикатор:
Дод. точки доступу: Національна академія наук України; Інститут монокристалів (Харків)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|