|
|
РА302823
Ефимов, Михаил Дмитриевич.
Дефектообразование в напряженных структурах на кремнии при радиационно- термических обработках [Текст] : автореф. дис... канд. мат. наук: 01.04.10 / Ефимов Михаил Дмитриевич ; РАН СО, Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск, 1998. - 16 с.
Тематичний рубрикатор:
Дод. точки доступу:
Российская академия наук. Сибирское отделение; Институт физики полупроводников (Новосибирск)
Видання зберігається у :
Основний фонд
|
|